成果信息

种二维解耦力矩触觉传感器，包括玻璃基底和设于玻璃基底上的敏感块;敏感块水平的四个侧面均依次设有角传感基板、弹性梁和支撑侧台，角传感基板的水平上表面设有上电极;玻璃基底内与上电极相应的位置均设有底部电极:上电极与相应的底部电极形成平行板电容器;支撑侧台与玻璃基底固定连接;敏感块受力矩可使角传感基板发生角度偏移，从而改变平行板电容器的电容值。本发明的传感器体积小，对于二维力矩的检测的灵敏度高。本发明的传感器可通过四个上电极与其对应的底部电极之间形成的四个平行板电容器的申容值的变化量的具体数值及大小关系可以实现传感器对力矩大小的测量和方向的判别。 )

背景介绍

种二维解耦力矩触觉传感器)

应用前景

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